Fluorogard® AT フィルター
- 分野:半導体 (剥離・洗浄、薬液供給)、ライフサイエンス (精製)、フラットパネル ディスプレイ (有機層プリンティング)
- 薬品:反応性の高い酸・アルカリ、溶剤
- 使用場所:装置内、薬液供給
仕様書
AT | ATX | ATE | AT3 | ||
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材質: | メンブレン: | PTFE (疎水性) | PTFE (疎水性) | PTFE (疎水性) | PTFE (疎水性) |
サポート、スリーブ、コア、エンドキャップ | PFA | PFA | PFA | PFA | |
O-リング (カートリッジのみ) | 被覆フッ素ゴム (E-FKM)、被覆ETP (E-ETP)、ケムラッツ、カルレッツ、FER | 被覆フッ素ゴム (E-FKM)、被覆ETP (E-ETP)、ケムラッツ、カルレッツ、FER | 被覆フッ素ゴム (E-FKM)、被覆ETP (E-ETP)、ケムラッツ、カルレッツ、FER | 被覆フッ素ゴム (E-FKM)、被覆ETP (E-ETP)、ケムラッツ、カルレッツ、FER | |
孔径 (注1): | 0.05、0.1、0.2、0.5、1.0、5.0、10.0 µm (注2) | 0.03, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 5.0, 10.0 µm (注2) | 標準:15、20 nm、0.03、0.05、0.1 µm UCM:15、20 nm (注2) | UCM:15 nm | |
膜面積: | 4 インチタイプ | 0.36 m2 | 0.5 m2 | - | - |
10 インチタイプ | 0.9 m2 | 1.3 m2 | 0.03 µm 以上: 2.2 m2 15 nm/20 nm: 2.05 m2 | 2.8 m2 | |
20 インチタイプ | 1.8 m2 | 2.6 m2 | 0.03 µm 以上: 4.4 m2 15 nm/20 nm: 4.1 m2 | - | |
30 インチタイプ | 2.7 m2 | - | - | - | |
シェディング: | カートリッジ (10 インチタイプ) および ディスポーザブル | 0.05 µm 以上の粒子が 50 個/10 mL 以下 (3 ~ 5 L/minで 5 分間のフラッシング後) | 0.05 µm 以上の粒子が 50 個/10 mL 以下 (3 ~ 5 L/minで 5 分間のフラッシング後) | 0.05 µm 以上の粒子が 50 個/10 mL 以下 (3 ~ 5 L/minで 5 分間のフラッシング後) | 0.05 µm 以上の粒子が 50 個/10 mL 以下 (3 ~ 5 L/minで 5 分間のフラッシング後) |
金属抽出量: | カートリッジ (10 インチタイプ) | 標準品 < 40 µg/デバイス | 標準品 < 40 µg/デバイス | 標準品 < 40 µg/デバイス | 標準品 < 40 µg/デバイス |
高清浄品 (UCM) < 10 µg/デバイス | 高清浄品 (UCM) < 10 µg/デバイス | 高清浄品 (UCM) < 10 µg/デバイス | 高清浄品 (UCM) < 10 µg/デバイス | ||
ディスポーザブル | 標準品 < 10 µg/デバイス | 標準品 < 10 µg/デバイス | 標準品 < 10 µg/デバイス | 標準品 < 10 µg/デバイス | |
高清浄品 (UCM) < 3 µg/デバイス | 高清浄品 (UCM) < 3 µg/デバイス | 高清浄品 (UCM) < 3 µg/デバイス | 高清浄品 (UCM) < 3 µg/デバイス |
カートリッジ | ディスポーザブル | ディスポーザブル (チューブ接続) | ||
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使用条件: | 最高使用圧力 | 0.58 MPa @ 25 °C (注3) | 0.58 MPa @ 25 °C | 0.58 MPa @ 25 °C |
最大許容正差圧 | 0.44 MPa @ 25 °C | 0.44 MPa @ 25 °C | 0.44 MPa @ 25 °C | |
0.05 MPa @ 180 °C | 0.05 MPa @ 180 °C | 0.05 MPa @ 150 °C | ||
最大許容逆差圧 | 0.34 MPa @ 25 °C | 0.34 MPa @ 25 °C | 0.34 MPa @ 25 °C | |
最高使用温度 | 180 °C | 180 °C Flowell™ 60シリーズ接続は 100 °C | 150 °C | |
注1: 除粒子径 0.03 µm、15 nm、20 nmには、溶剤ろ過用の高清浄品 (UCM) のオプションがあります。(親水化処理のオプションはありません)。 注2:0.05 µm~1 µmには、親水化処理のオプションがあります。詳細については、お問い合わせください。 注3:最高使用圧力の範囲内であっても、使用するハウジングの耐圧に依存しますのでご注意下さい。 |
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