Fluorogard® RS フィルター
- 半導体製造
- 洗浄・剥離プロセス
- レジスト剥離液
- 装置の使用点
仕様書
RS-T | RS-M | ||
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材質: | フィルターメディア | 最適化されたPTFE膜 | PTFEプレフィルターメディアと最適化されたPTFE膜 |
ディスポーザブルシェル | PFA | PFA | |
サポート、コア、スリーブ、エンドキャップ | PFA | PFA | |
O-リング (カートリッジのみ) | 被覆EPゴム (E-EP) | 被覆EPゴム (E-EP) | |
孔径: | 0.05、0.1、0.2 µm | 0.05、0.1、0.2 µm | |
使用条件: | 最大許容正差圧 | 0.44 MPa @ 25 °C、0.05 MPa @ 180 °C | 0.44 MPa @ 25 °C、0.05 MPa @ 180 °C |
最大許容逆差圧 | 0.34 MPa @ 25 °C | 0.34 MPa @ 25°C | |
最高使用温度 | 180 °C | 180 °C | |
膜面積: | 1.3 m2 | 0.65 m2 |
材質: | フィルターメディア | PTFE不織布 |
サポート、スリーブ、 エンドキャップ、コア | PFA | |
O-リング | 被覆EPゴム (E-EP) | |
孔径: | 40 µm | |
使用条件: | 最高使用圧力 | ディスポーザブル: 0.59 MPa @ 25 °C |
最大許容正差圧 | 0.44 MPa @ 25 °C、0.05 MPa @ 180 °C | |
最大許容逆差圧 | 0.34 MPa @ 25°C | |
最高使用温度 | 180 °C | |
膜面積: | 1.4 m2 |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 形状 | 流量 | ケムロックキー | 親水化処理 | O-リング | 接続 | 長さ | 除粒子性能 | |
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CDPG01PTH | ラージディスポーザブル | 低流量 | N/A | なし | N/A | 入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")T型チューブ、スーパータイプPillar®継手 | 10 インチタイプ | 0.2 µm | |
CDTZ01PTHN | Chem-Line™ Iラージディスポーザブル | 中流量 | なし | なし | N/A | 入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")T型チューブ、スーパータイプPillar®継手 | 10 インチタイプ | 0.05 µm | |
CTTV01PK1 | カートリッジ | 中流量 | あり | なし | E-FKM | コード0 | N/A | 10 インチタイプ | 0.1 µm |
CTTZ01P01KN | カートリッジ | 中流量 | あり | なし | E-FKM | コード0 | N/A | 10 インチタイプ | 0.05 µm |
CTTZ01P01N | カートリッジ | 中流量 | なし | なし | E-FKM | コード0 | N/A | 10 インチタイプ | 0.05 µm |