超高純度 シリコン コーティング
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仕様書
基材: | 対応材料: 金属、セラミック(AIN、Al2O3、クォーツ、PSZ、グラファイトなど)、ポリマー |
サイズ: 最大91 cm | |
形状: 複雑な形状を含む任意の形状 | |
構造: | アモルファス、水素含有 |
温度: | 成膜温度: 150°C未満 |
使用温度: -50°Cから600°C | |
コーティング厚: | 数 nmから150 μm超 |
電気抵抗率: | 5 x 108 Ω-cm、それより低い値も可能 |
硬度: | 600 DPHN |
純度: | 99.9995% |
耐摩耗性: | 良い |
耐腐食性: | 水溶液、酸、アルカリ環境に優れた耐性 |
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