トラック用ケミカルフィルター
リソグラフィのトラック内で、幅広い分子状の酸、塩基、凝縮性有機物に対する優れた保護を提供します。
インテグリスのトラック用ケミカルフィルターは、幅広い分子状の気相の酸、塩基、凝縮性有機物に対する優れた保護を提供します。これらの高性能フィルターは、空気中のアミン、無機酸、および有機物をppbレベルまで除去します。
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インテグリスのVaporsorb™TRK (ベーパーソーブTRK) ケミカルフィルターは、22nm以下における幅広い分子状汚染物質に対する優れた保護を実現します。
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