Wafergard® III バルク インライン メタル ガスフィルター
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アプリケーション
- ガス製造およびバルクガス供給システム (BSGS)
- 超高純度ガスライン
- 高温のガスライン
- 新規設備、既存フィルターのアップグレード
仕様書
| Part number | Fitting configuration | D1 | D2 | L1 | L2 |
| SI2N0010R | VCR male | – | 38.1 mm (1.5") | 213 mm (8.4") | 35.9 mm (1.4") |
| SI2N0010RV | VCR male | – | 38.1 mm (1.5") | 213 mm (8.4") | 35.9 mm (1.4") |
| SI2N0025R | VCR male | – | 38.1 mm (1.5") | 305 mm (12.0") | 35.9 mm (1.4") |
| SI2N0025RV | VCR male | – | 38.1 mm (1.5") | 305 mm (12.0") | 35.9 mm (1.4") |
| SI2N0050R | VCR male | – | 76.2 mm (3.0") | 213 mm (8.4") | 35.2 mm (1.4") |
| SI2N0050R4 | VCR male | – | 76.2 mm (3.0") | 225 mm (8.9") | 30.2 mm (1.2") |
| SI2N0100B | Butt weld | 25.4 mm (1.0") | 101.6 mm (4.0") | 267 mm (10.5") | 57.2 mm (2.3") |
| SI2N0100BRR6 | VCR male | – | 101.6 mm (4.0") | 384 mm (15.1") | 115.9 mm (4.6") |
| SI2N0100BRR8 | VCR male | – | 101.6 mm (4.0") | 384 mm (15.1") | 115.9 mm (4.6") |
| SI2N0200B | Butt weld | 38.1 mm (1.5") | 101.6 mm (4.0") | 356 mm (14.0") | 57.2 mm (2.3") |
| SI2N0200B16 | Butt weld | 50.8 mm (2.0") | 101.6 mm (4.0") | 356 mm (14.0") | 52.1 mm (2.1") |
| SI2N0200R | VCR male | – | 101.6 mm (4.0") | 354 mm (13.9") | 56.4 mm (2.2") |
| SI2N0400B | Butt weld | 50.8 mm (2.0") | 152.4 mm (6.0") | 358 mm (14.1") | 51.9 mm (2.1") |
| SI2N0200A1007 | ANSI 150 RF flange | – | 101.6 mm (4.0") | 356 mm (14.0") | 44.5 mm (1.8") |
| SI2N0200A1015 | ANSI 150 RF flange | – | 101.6 mm (4.0") | 356 mm (14.0") | 39.7 mm (1.6") |
| SI2N0200A1020 | ANSI 150 RF flange | – | 101.6 mm (4.0") | 356 mm (14.0") | 38.5 mm (1.5") |
| SI2N0200J1015 | JIS 10K RF flange | – | 101.6 mm (4.0") | 356 mm (14.0") | 41.7 mm (1.6") |
| SI2N0400A1030 | ANSI 150 RF flange | – | 152.4 mm (6.0") | 358 mm (14.1") | 28.2 mm (1.1") |
| SI2N0400B24 | Butt weld | 76.2 mm (3.0") | 152.4 mm (6.0") | 358 mm (14.1") | 52.1 mm (2.05") |
| 材質 | フィルター部 | 焼結ニッケル製メンブレン |
| ハウジング | VAR 316L ステンレススチール (電解研磨) | |
| 除粒子性能 | 0.0015 µm | |
| 内面粗度 | Ra < 10 µin | |
| 粒子清浄度 | 0.01 µm 以上の粒子が 0.03 個/L 以下 | |
| He リークレート | 1 x 10-10 Pa･m3/sec | |
| 使用条件 | 最高使用圧力： | 1 MPa 未満* |
最大許容正/逆差圧： | 0.52 MPa | |
| 最高使用温度 (不活性ガス)： | 200 °C | |
| 粒子捕捉率 | 最大定格流量において、すべての粒子を 99.9999999 % (LRV 9) 以上除去 | |
＊ 日本国内では高圧ガス保安法が適用されます。1 MPa 以上で使用する場合は、お問い合わせください。
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型番
| 型番 | 継手サイズとタイプ | 長さ |
|---|---|---|
| SI2N0010R | 10 CFM、12.7 mm (1/2") VCRオス | 213 mm (8.40") |
| SI2N0010RV | 10 CFM、12.7 mm (1/2") VCRオス(V = 超高純度) | 213 mm (8.40") |
| SI2N0025R | 25 CFM、12.7 mm (1/2") VCRオス | 305 mm (12.00") |
| SI2N0025RV | 25 CFM、12.7 mm (1/2") VCRオス(V = 超高純度) | 305 mm (12.00") |
| SI2N0050R | 50 CFM、19.05 mm (3/4") VCRオス | 213 mm (8.40") |
| SI2N0050R4 | 50 CFM, 1/2" VCR male | 225 mm (8.9") |
| SI2N0100B | 100 CFM、突き合わせ溶着チューブ | 267 mm (10.50") |
| SI2N0100BRR6 | 100 CFM, 3/4" VCR male | 384 mm (15.1") |
| SI2N0100BRR8 | 100 CFM, 1" VCR male | 384 mm (15.1") |
| SI2N0200A1007 | 200 CFM, 3/4" ANSI 150 RF flange | 366 mm (14.41") |
| SI2N0200A1015 | 200 CFM, 1 1/2" ANSI 150 RF flange | 366 mm (14.41") |
| SI2N0200A1020 | 200 CFM, 2" ANSI 150 RF flange | 366 mm (14.41") |
| SI2N0200B | 200 CFM、38.1 mm (1 1/2")突き合わせ溶着チューブ | 366 mm (14.41") |
| SI2N0200B16 | 200 CFM, 2" butt weld tube | 366 mm (14.41") |
| SI2N0200J1015 | 200 CFM, 40A JIS 10K RF flange | 366 mm (14.41") |
| SI2N0200R | 200 CFM, 1" VCR male | 354 mm (13.9") |
| SI2N0400A1030 | 400 CFM, 3" ANSI 150 RF flange | 358 mm (14.1") |
| SI2N0400B | 400 CFM, 2" butt weld tube | 358 mm (14.1") |
| SI2N0400B24 | 400 CFM, 2" butt weld tube | 358 mm (14.1") |