SUPERSiC®シリコンカーバイド

インテグリスは、先端プロセス向けの取り扱いが困難な薬液や固体材料を安全かつ効率的に保管し、プロセスチャンバーへ供給するための容器、気化器や供給システムを提供しています。

プロセスの入口から出口までのコンタミネーションコントロールは、作業効率を向上させ、技術を進化させるためのカギとなります。インテグリスは、製造環境ごとのプロセスの条件や耐薬品性に適合するさまざまなメンブレンやメディアを提供しています。

インテグリスは、業界の技術、品質、経済性の各側面の課題に応えるプリカーサーを提供しています。

インテグリスの装置用AMCフィルターは、酸、塩基、有機物を含むラボ内の一般的なAMCに対し優れた保護を提供します。装置用AMCフィルターは、標準的なフィルターメディアとカスタム仕様のメディアブレンドの両方を使い、さまざまなAMC除去に対応します。

高純度グラファイト部品

インテグリスのグラファイトは、強度、結晶粒サイズ、硬度のバランスのとれた均質な微細構造を持つ材料として厳しい管理の下で生産され、お客様のアプリケーションに最適な性能を提供します。

グラファイトのグレード

インテグリスは、半導体製造プロセスの厳しい要件を満たす、幅広いグラファイト材料と後工程、機械加工用製品を提供しています。アプリケーションに最適なグラファイトを結晶粒径(1、5、10 µm)別に選択可能です。すべてのグレードが、バルク形式か、特定のアプリケーション用にカスタマイズされたコンポーネントとして販売されます。

固体・液体供給システム

安定した質量流束を実現し、現在および将来のテクノロジーノードで使用される幅広い固体・液体材料を供給する供給システムです。

SUPERSiC®シリコンカーバイド部品

ニアネット部品は、グラファイトによる機械加工、精製、炭素原子を高純度シリコン原子に置き換える独自のコンバージョンプロセスで処理されます。このような工程でインテグリスのSUPERSiC高純度シリコンカーバイドは製造されます。

クリーンルーム用ケミカルフィルター

クリーンルーム用フィルターは、独自の化学反応により低い圧力損失で問題となる汚染物質を除去します。VaporSorb™(ベーパーソーブ) クリーンルーム用ケミカルフィルターは、95%以上の除去効率を実現します。上流/下流の方向を合わせて設置面に取り付けられるのでサイドアクセスタイプのハウジングユニットや吊り下げ型のファンユニットにも簡単に設置可能です。

InVue™ 濃度計および屈折計

先進的な光学ベースのモニタリング機能と高性能な濃度計により、BEOL、FEOL、サブファブの薬液供給システムのプロセス効率が向上します。インテグリスのInVue™(インビュー) 濃度計、溶存酸素濃度計、屈折計は、インラインでリアルタイムに拡張性の高いモニタリングが可能です。

ガス供給用シリンダーシステム

インテグリスには、幅広いニーズに対応するさまざまなガス容器があります。インテグリスは、半導体から太陽電池、フラットパネルディスプレイの製造まで、それぞれの用途に最適な容器と供給材料で最適なガスをお届けします。

ガス供給用キャビネットシステム

インテグリスの高純度ガス用キャビネットシステムは、有毒ガスを大気中の常態より低圧にすることで、ガス漏れ事故の防止と安全な作業環境を実現します。

ガスディフューザー

インテグリスのガスディフューザーは、ほとんどのシステム設計に互換性があり、取り付けが簡単で、既存のロードロックチャンバー、冷却チャンバー、トランスファーチャンバー、プロセスチャンバーへの後付けが可能です。

Upstream ALD/CVD Precursors