SUPERSiC®シリコンカーバイド部品


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  • 業種
あらゆる横型炉システムに対応するシリコンカーバイド 製ウェーハキャリアソリューションです。
産業
  • 半導体
  • ソーラー/PV
プロセス
  • 成膜
洗浄および再利用が可能な高純度シリコンカーバイド製ダミーウェーハです。
産業
  • 半導体
  • ソーラー/PV
プロセス
  • 成膜
あらゆる横型炉システムに対応可能なSUPERSiC (スーパーSiC) シリコンカーバイド製のウェーハおよびウェーハキャリア ソリューションです。
産業
  • ソーラー/PV
  • 半導体
プロセス
  • 成膜
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