薬品供給 システム

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液体および固体材料の供給に必要とされる容器、気化器や供給システム

インテグリスは、 先端プロセス向けの取り扱いが困難な薬液や固体材料を安全かつ効率的に保管し、プロセスチャンバーへ供給するための容器、気化器や供給システムを提供しています。

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固体材料供給 システム

安定した質量流束を実現し、現在および将来のテクノロジーノードで使用される幅広い固体材料を供給する固体材料供給システムです。 

薬液供給システム

インテグリスは、先端プロセス向けの取り扱いが困難な薬品を安全かつ効率的に保管し、プロセスチャンバーへ供給するための容器、気化器や供給システムを提供しています。