クリーンで確実なシールを安定して実現するPFA継手
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インテグリスの「プライムロック継手」は、クリーンで堅固、そして組み立てが容易なPFAチューブ継手です。作動音と視覚的なサインにより、適切な接続状態を迅速に確認できます。また、組み立て時の加熱処理が不要ですので、作業時間とコストが抑えられます。
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300mmウェーハの自動化対応出荷容器（FOSB）
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インテグリスのSB300 FIMS（Front Opening Interface Mechanical Standard）対応FOSB（Front Opening Shipping Box）は、ウェーハの高度な保護および最適な自動化インターフェースを提供し、デバイスの全面的な歩留りおよび設備全体の生産効率を向上させるために開発された300mmウェーハ出荷容器です。
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45nmノード以降のウェーハ洗浄用フィルター
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インテグリスの「トレントATE 20nm」フィルターは、45nmノードに対応する高い除粒子性能と高流量特性を両立する、新開発のメンブレンを採用しています。パーティクルによるウェーハ欠陥を最小限に抑え、しかもハイスループットを維持するために最適な循環洗浄プロフィールを提供します。
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