高純度薬品はそのアプリケーションによってニーズが異なります。半導体材料においては、最先端のデザインルールに対応する清浄度および完全性の維持が必要とされます。また、大型化が進む液晶ディスプレイにおいては、薬品使用量の増加に伴なう高流量化とトータルコストの削減が求められています。
インテグリスは高純度薬品の製造工程において、ろ過、移送、保管に関わる多様なニーズにお応えする製品を提供します。
フィルター
 | | インテグリスはマイクロエレクトロニクスの製造に用いられる各種流体のろ過において、各用途における最適なフィルターを提供します。
- 半導体ウェーハ
- 液晶ディスプレイ
- 記録ディスク
- その他のハイテク産業
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バルブ
 | | インテグリスのIntegra® 1" バルブは、高流量アプリケーション向けにデザインされたダイアフラムバルブです。 - 高流量特性、Cv=13.6（1 1/4"接続）
- 耐薬品性に優れた接液部材質
- 外装部には金属部品を使用していません
- コンパクトサイズ
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