半導体のデザインルールが微細化するに従って、ウェーハ表面の清浄度に対する要求が厳しくなっています。ウェーハ洗浄プロセスにおいては、プロセス薬品の清浄度を高めるために、不純物の除去性能が高いフィルターが必要となります。一方で、スループットを維持するためには流量性能が高い供給システムが必要となります。
インテグリスはウェーハ洗浄プロセスにおいて、ろ過、移送、流量制御に関わる厳しい要求にお応えするイノベーティブなソリューションを提供します。
プロセス薬品のろ過
インテグリスは半導体製造分野に多くの製品群を供給していますが、特にプロセス薬品のピューリフィケーションにおいてはテクニカルリーダーでありNo.1サプライヤーとして認知されています。歩留まり、装置稼働率、MTBFを向上させるために、インテグリスの実証されたイノベーティブなフィルター製品は、重要なプロセスパラメータのコントロールを可能とするソリューションを提供します。 インテグリスは、ウェーハの洗浄、ウェットエッチング、レジスト剥離の各アプリケーションに最適化されたフィルター製品を提供します。 | |  |
プロセス薬品の供給、流量制御
インテグリスのベローズポンプには、長年に渡る実績と優れた技術が受け継がれています。
EJシリーズはメンテナンスを最小限に抑え、高い性能を安定して発揮することにより、全面的な装置稼働率（OEE）の向上、所有者コスト（COO）の低減に寄与する製品です。 | |  |
| インテグリスのNT®インテグレーテッドフローコントローラは、最新の電子制御技術と高清純部材を採用した、最先端の液体用フローコントローラで、プロセス流量の変動を最小限に抑えます。 | |  |