| 1954年 | 米国マサチューセッツ州にて「Millipore Corporation」を設立 | | 1966年 | 米国「Fluoroware Inc.」創立 |
| | 1978年 | 「日本バルカー工業株式会社」と相互ライセンス契約締結 |
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| 1968年 | 東京に「日本ミリポア・リミテッド」を設立 |
| 1970年 | 大阪に営業所開設 | | 1985年 | 合弁会社として米沢に製造工場を設立 |
| 1978年 | 福岡に営業所を開設 | | 1988年 | フロロウエア東京代表事務所開設 |
| 1981年 | 山形県米沢市に新工場「日本ミリポア工業株式会社」を新築 | | 1989年 | 「日本フロロウエア株式会社」発足 |
| 1993年 | 「日本ミリポア株式会社」として「日本ミリポア工業株式会社」を統合 | | 1992年 | フロロウエア東京支店設立 |
| 1994年 | 米沢工場でISO9001認証を取得 | | 1996年 | 「フロロウエア・バルカージャパン株式会社」設立 |
| 1997年 | Millipore CorporationがTylan General社を吸収合併 | | 1998年 | 日本フロロウエアでISO9001 認証を取得 |
| 1999年 | 米沢工場でISO14001認証を取得 | | 1999年 | Fluoroware Inc.と米国Empak 社の合併により、「Entegris Inc.」設立 |
| 2001年 | Millipore Corporationにおけるマイクロエレクトロニクス分野の分社化に伴い、「日本マイクロリス株式会社」に社名変更 | | 2002年 | Entegris Inc. 100%出資の子会社となり、日本フロロウエア株式会社とフロロウエア・バルカージャパン株式会社が合併して、「フロロウエア・バルカージャパン株式会社」となる |
| 2003年 | Mykrolis CorporationがAeronex社を吸収合併 |
| 2004年 | Mykrolis CorporationがBentech Scientific社を買収 | | 2003年 | フロロウエア・バルカージャパン株式会社とインテグリス・テクノ株式会社が合併し、「インテグリスジャパン株式会社」に社名変更 |
| 2005年 | Mykrolis Corporation が、米国Extraction 社を買収 |
| 2005年 | Mykrolis Corporation と米国Entegris社が対等合併 | | 2005年 | Entegris Inc.と米国Mykrolis 社が対等合併 |
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2006年1月1日 日本マイクロリス株式会社とインテグリスジャパン株式会社が合併して
「日本インテグリス株式会社」に社名変更 |