省スペースデザイン
多様化するプロセスニーズに適応した省スペースデザイン。 既存の装置へのレトロフィットも可能です。
ディスペンス解析ツール
ディスペンスの僅かな変動を瞬時に検出することにより、生産効率の改善に貢献します。
一定圧力ろ過
フォトケミカルの完全性を維持することにより、欠陥の低減および歩留まりの向上に貢献します。
吸液レート制御
マイクロバブルの発生を抑制し、生産効率を向上させます。
多彩なフィルターをご用意
長年の実績を誇る超高分子量ポリエチレンメンブレンをはじめとして、Non-Sievingテクノロジーを付加したDUOなど多彩なメンブレンをご用意。また、最先端のデザインルールに対応する10nm超精密ろ過、ホールドアップボリュームを極限まで抑えたインパクトMiniなど、多様なニーズにお応えします。
2-ステージ・ディスペンス・テクノロジー（TST）
フィルトレーションとディスペンスを独立して制御するため、信頼性が高く、高精度なディスペンス性能を安定して長期間維持します。 また低圧損のろ過により、気泡の発生やゲル・粒子を低減して、薬液の無駄を省いた正確で再現性に優れた信頼性の高いディスペンスを実現します。
| ディスペンスサイクル | フィルトレーションサイクル |
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