インテグリスは、半導体、フラットパネルディスプレイ、ハードディスクドライブなどのハイテク分野で使用される貴重な材料を精製、保護、搬送する製品・サービスを提供します。
日本インテグリスは、社員一人ひとりが積極的に知識を共有し、リスクをおそれることなくチャレンジし、アイデアを広く分かちあい、これをビジネスに結びつける職場環境づくりに積極的に取り組んでいます。
45nmノード以降のウェーハ洗浄用フィルター
フォトケミカルの精密ディスペンス
インテグリスの「インテリジェンミニ」は、独自のツーステージ・テクノロジーにディスペンス解析ツールなどの新機能を付加することにより、さらなるウェーハ欠陥の低減、生産性の向上に寄与するディスペンスシステムです。インテリジェンミニの設置スペースは、代表的なシングルステージの最新モデルとほぼ同じで、最新のコータ・デベロッパへの搭載サイズを満たしています。
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レチクルヘイズ ソリューション
インテグリスの「クラリライト」は、レチクルのヘイズ問題を防止する業界初のソリューションです。位相シフトマスク上の成長性結晶起因によるウェーハディフェクトを防止します。また、レチクルの洗浄サイクルを大幅に延ばし、時間とコストを削減できます。