LEDの量産ラインでは、MOCVDを使用して発光層をエピタキシャル（結晶成長）で成膜します。このプロセスでは有機金属化合物、水素、窒素、アンモニア、アルシン、モノシラン、塩化水素などのプロセスガスが使用されます。これらのプロセスガス中に含まれる水分、酸素などの不純物は、酸素原子がエピ膜に取り込まれる要因となり、その結果として、フォトルミネッセンス、キャリア移動度、キャリア密度などの光学および電気特性に影響を与えます。
インテグリスのガス精製システムまたはゲートキーパーを使用することにより、アンモニアガスおよび水素ガス中の不純物を1ppb未満に低減し、LEDの発光特性を改善できます。
複数の精製ユニットを内蔵し、自動的に再生するガス精製システム
特殊材料ガスや不活性ガス等、用途に合わせて精製メディアが異なるガスピューリファイヤー
プロセスガス用に設計された高性能フィルター