高輝度LEDの材料となる化合物半導体ウェーハには、サファイア、シリコンカーバイト(SiC)、ガリウム砒素(GaAs)、窒化ガリウム(GaN) が典型的に使用されます。従来はシリコンウェーハ用の出荷容器が一般的に使用されていましたが、薄型あるいは厚型ウェーハの採用、ヘイズによるエピ不良の発生などによって、化合物半導体に特有の要求が増えています。
インテグリスは、シリコンウェーハの分野で長年に渡って培ったノウハウとマテリアルサイエンスを駆使して、化合物半導体ウェーハに特化した出荷容器ソリューションを提供します。
ウェーハ出荷容器(オールPP製、200-100mm)