header top curve
ホーム   >   アプリケーション   >   FPD   >   レジスト塗布

アプリケーション

製品情報の絞込みは、以下のフィールドから1つ以上の項目を選択し、検索ボタンをクリックしてください。
  産業別絞込み   製品の用途または区分   製品名またはキーワード入力      
   または   または      検索

レジスト塗布

レジストのろ過

Optimizer ST2 Manifold   フラットパネルディスプレイの製造工程において、微細回路の形成にフォトレジスト（感光剤）が使用されます。パネル基板上にフォトレジストを均一に塗布し、フォトマスクを通して露光することにより感光します。
フォトレジスト中の異物はパターン欠陥に結びつくことが多いので、ディスペンスの直近でのPOU（最終使用点）ろ過が必要とされます。インテグリスはこのアプリケーションに最適化されたフィルターを提供しています。
マニホールドタイプ

専用のマニホールドを使用することにより、簡単な操作でフィルターを交換できます。

カプセルタイプ

典型的なカプセル形状のディスポーザブルフィルター。