フラットパネルディスプレイのレジスト塗布工程で使用される主要製品 フラットパネルディスプレイの製造工程において、微細回路の形成にフォトレジスト（感光剤）が使用されます。パネル基板上にフォトレジストを均一に塗布し、フォトマスクを通して露光することにより感光します。フォトレジスト中の異物はパターン欠陥に結びつくことが多いので、ディスペンスの直近でのPOU（最終使用点）ろ過が必要とされます。 インテグリスはフラットパネルディスプレイのレジスト塗布工程に適したフィルター製品を提供します。
専用のマニホールドを使用することにより、簡単な操作でフィルターを交換できます。
典型的なカプセル形状のディスポーザブルフィルター。