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レジスト塗布
レジストのろ過
フラットパネルディスプレイの製造工程において、微細回路の形成にフォトレジスト(感光剤)が使用されます。パネル基板上にフォトレジストを均一に塗布し、フォトマスクを通して露光することにより感光します。
フォトレジスト中の異物はパターン欠陥に結びつくことが多いので、ディスペンスの直近でのPOU(最終使用点)ろ過が必要とされます。インテグリスはこのアプリケーションに最適化されたフィルターを提供しています。
マニホールドタイプ
専用のマニホールドを使用することにより、簡単な操作でフィルターを交換できます。
カプセルタイプ
典型的なカプセル形状のディスポーザブルフィルター。