フラットパネルディスプレイの洗浄、剥離、エッチング工程で使用される主要製品群 フラットパネルディスプレイの製造工程には、パネル表面の洗浄、剥離またはエッチングが必要なステップが多数あります。クロミウム膜、アルミニウム膜、透明電極（ITO）膜、さらにはSiO2やSiNxなどの絶縁膜は、薬品を使ってエッチングされます。 インテグリスは、フラットパネルディスプレイ基板の洗浄、剥離、エッチングの各プロセスに適したフィルター製品を提供します。
60L/min以下の中流量用
100-200L/min対応フィルター
200-300L/min対応フィルター
300-500L/min対応フィルター