ウェーハプロセスには、成膜やドライエチングに代表されるドライプロセスがあります。これらのプロセスで使用される不活性ガスおよび特殊材料ガスには高い清浄度が求められます。従来から、ガス中の粒子を除去する目的で高性能ガスフィルターが使用されていますが、デバイスの歩留まり、電気特性、膜質の改善を目的としてガス中の不純物を除去するのには、ガスピューリファイヤーが効果的です。
インテグリスはドライプロセスにおいて、ろ過・精製に関わる高性能・高品質な製品を提供します。
プロセスガス用に設計された高性能フィルター
特殊材料ガスや不活性ガス等、用途に合わせて精製メディアが異なるガスピューリファイヤー
真空チャンバー開放時の気流拡散