半導体のデザインルールが微細化するに従って、ウェーハ表面の清浄度に対する要求が厳しくなっています。ウェーハ洗浄プロセスにおいては、プロセス薬品の清浄度を高めるために、不純物の除去性能が高いフィルターが必要となります。また、プロセス薬品の混合比を一定に保つために、高精度の流量制御が求めれます。
インテグリスはウェーハ洗浄プロセスにおいて、ろ過、移送、流量制御に関わる厳しい要求にお応えするイノベーティブなソリューションを提供します。
親水化処理が不要で、膜の乾きによるトラブルを解消する独自のPTFEメンブレン。
SC1, SC2, SPM, 熱燐酸、オゾン水などの循環・供給ラインにお薦めします。
耐薬品性に優れたオールフッ素樹脂製フィルター。
高純度薬品（酸・アルカリ）および有機溶剤の精密ろ過の他に、レジスト剥離、ポンプ保護用のプレフィルターもあります。
DHF/BOEの循環・供給ライン用にデザインされたフィルター。
親水性の超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレンは、親水化処理が不要で、マイクロバブルの発生を抑制します。
イオン交換メディアとメンブレンを組み合わせた金属イオン除去フィルター。
PTFEメンブレンを使用したインライン型ガスフィルター。
薬液の加圧（圧送）ガス、駆動ガスのろ過に適しています。
差圧式流量計測技術とバルブ技術を融合した先進の流量制御
カスタム仕様のマニホールドタイプ
クリーンで確実なシールを安定して実現するチューブ継手