半導体はウェーハと呼ばれる基板を加工して製造されます。つまり、ウェーハは半導体プロセスの全てに関わる最も重要なマテリアルです。ウェーハ容器は外部環境からウェーハを保護するための重要な要素であり、高い信頼性が求められます。また、ウェーハサイズの大型化、パターンの微細化、生産システムの自動化などにより、機能性やインターフェイスも重要とされます。
インテグリスはウェーハの出荷容器およびプロセス内搬送容器を提供します。
ウェーハ出荷容器（300mm）
ウェーハ出荷容器（PC製ボックス&カセット、200mm）
ウェーハ出荷容器（PP製ボックス／PC製カセット、200mm）
ウェーハ出荷容器（オールPP製、200-100mm）
ウェーハ出荷容器（オールPP製、76.2-50.8mm）
シングルウェーハ出荷容器（PC製、450-100mm）
シングルウェーハ出荷・保管容器（オールPP製、100-38.1mm）
ウェーハ工程内搬送容器（300mm）
ウェーハ工程内搬送容器（200mm）
ウェーハキャリア（200mm）
ウェーハキャリア（150-100mm）
ウェーハキャリア（125-50.8mm）