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ウェハーガードミニXLインラインガスフィルター

PTFEメンブレン、100NL/min
ec9517.pdf (131265)
 
ウェハーガードミニXLインラインガスフィルター
  • 狭い場所にも設置できるコンパクト設計。
  • 特殊電解研磨仕上げもご用意。
 
ウェハーガードミニXLインラインガスフィルター
材質
 フィルター：PTFE

サポート：PFA

O-リング：PTFE

ハウジング：SUS316L
除粒子サイズ
 0.003 µm
最高使用圧力
 1 MPa 未満
最大許容正差圧
 0.4 MPa
最大許容逆差圧
 0.07 MPa
最高使用温度
 120°C
製品型番
 WGFG02PS1 WGFG02PSU WGFG02PR1 WGFG02PRU WGFG32PS1 WGFG32PR1 WGFG32PRU