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ウェハーガードⅡSF3XPインラインガスフィルター

SUS316Lメンブレン、90/150/200NL/min
ec1005.pdf (120468)
 
ウェハーガードⅡSF3XPインラインガスフィルター
  • ほとんどのガスに使用できるオールステンレスフィルター。
  • 従来の3倍（当社比）の高流量と高除粒子性能を実現した新開発のメンブレン。
  • 従来製品と面間が同じですので、置換えが容易。
 
ウェハーガードⅡSF3XPインラインガスフィルター
材質
 フィルター：SUS316L

ハウジング：SUS316L
除粒子サイズ
 0.003 µm
初期清浄度
 0.01µm以上の粒子 <0.03 個/L
最高使用圧力
 0.98 MPa
最大許容差圧
 0.98 MPa
最高使用温度
 460 °C
製品型番
 WG2S3P1RR2 WG2S3P1RR4 WG2SS3P2RR2 WG2S3P2RR4