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ウェハーガードⅡFマイクロインラインガスフィルター

PTFEメンブレン、30NL/min
ec9509.pdf (117887)
 
ウェハーガードⅡFマイクロインラインガスフィルター
  • コンパクト設計。
  • 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上除去。
  • 特殊洗浄とベーキングを施したクリーンな製品。
  • 高品位316Lステンレス製ハウジング。
 
ウェハーガードⅡFマイクロインラインガスフィルター
材質
 フィルター：PTFE

サポート：PFA

ハウジング：Low Sulfur SUS316L
粒子除去率
 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上
初期清浄度
 0.01µm以上の粒子 <0.03 個/L

H2O <10 ppb
推奨流量
 30 NL/min 以下
常用圧力
 1 MPa 未満
最大許容正差圧
 0.41 MPa
最大許容逆差圧
 0.07 MPa
最高使用温度
 120°C
製品型番
 WG2FT1RR2 WG2FT1SS2