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ウェハーガードGT-プラスガスフィルター
オールフッ素樹脂製フィルター
ec8805.pdf
(99772)
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搬送、パージ、ボトル加圧用のN2ラインのろ過。
耐薬品性、清浄性に優れたオールフッ素樹脂製。
コンパクトサイズ。
ウェハーガードGT-プラスガスフィルター
材質
フィルター:PTFE
ハウジング:PFA
除粒子径
0.003 µm
耐圧
使用圧力:0.41 MPa
正差圧:0.34 MPa
逆差圧:0.034 MPa
最高使用温度
60 ℃
製品型番
WGFG01KP3 WGFG01KP0 WGFG21KP3 WGFG21KP0
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