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ウェハーガード F-4/16/40 カートリッジフィルター
疎水性PTFEメンブレン、孔径0.05-1.0µm、ネガレジストのろ過
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ウェハーガード F-4/16/40 カートリッジフィルター
除粒子孔径
0.05, 0.1, 0.2, 1.0 µm
材質
フィルター:PTFE(疎水性)
コア、サポート:ECTFE
O-リング:EPDM、フッ素樹脂
最大許容正差圧
0.41 MPa
最大許容逆差圧
0.034 MPa
最高使用温度
85 ℃
製品型番
WGFV04HP6 WGFG04HP6 WGFA04HP6 WGFZ16HP2 WGFV16HP2 WGFG16HP2 WGFA16HP2 WGFZ40H01 WGFV40H01 WGFG40H01 WGFA40H01
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