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CMPスラリー用フィルター

ソラリスCLフィルター

密度勾配型デプスフィルター、公称孔径0.3-3µm

CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルター。
最適化されたメディアデザインにより、フィルター性能とライフタイム性能を向上。
デッドボリュームが少なく、コンパクトなディスポーザブルデザイン。
フィルター交換が容易なマニホールドタイプもご用意。

ソラリスCMフィルター

密度勾配型デプスフィルター、公称孔径1-5µm

CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルター。
最適化されたメディアデザインにより、フィルター性能とライフタイム性能を向上。
デッドボリュームが少なく、コンパクトなディスポーザブルデザイン。
フィルター交換が容易なマニホールドタイプもご用意。

プレナガードCLカートリッジフィルター

密度勾配型デプスフィルター、公称孔径0.3-1.0µm、5/10/20/30インチタイプ

CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルター。
最適化されたメディアデザインにより、フィルター性能とライフタイム性能が向上。
最先端のCMPプロセスに対応する孔径ラインアップ。

プレナガードカートリッジフィルター

密度勾配型デプスフィルター、公称孔径1.0-10µm以上、10インチタイプ

CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルター。
1.0µmから10µm以上まで、幅広い孔径ラインアップ。