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ウェハーガード シリーズ

プロセスガス用に設計された高性能フィルター

インテグリスのプロセス用ガスフィルターにはニッケル、SUS316L、PTFEの3種類のメンブレンがあり、ガス種、使用条件に合わせてフィルター材質を選択できます。

また、流量、接続方式に合わせて各種ラインアップをご用意しています。
ウェハーガードⅢNFインラインガスフィルター
ニッケルメンブレン、30/60/120NL/min
  • 独自に開発したニッケルメンブレンは高流量、高差圧でも高い除粒子性能を発揮。
  • 流量に合わせてハーフ、ミニ、ミニXLの3タイプをご用意。
  • 特殊洗浄、ホットN2パージ、真空ベーキングを施したクリーンな製品。
ウェハーガードⅡSF3XPインラインガスフィルター
SUS316Lメンブレン、90/150/200NL/min
  • ほとんどのガスに使用できるオールステンレスフィルター。
  • 従来の3倍（当社比）の高流量と高除粒子性能を実現した新開発のメンブレン。
  • 従来製品と面間が同じですので、置換えが容易。
ウェハーガードⅡSFインラインガスフィルター
SUS316Lメンブレン、15/30/60NL/min
  • ほとんどのガスに使用できるオールステンレスフィルター。
  • 流量に合わせてハーフ、ミニ、ミニXLの3タイプをご用意。
  • 特殊洗浄、ホットN2パージ、真空ベーキングを施したクリーンな製品。
ウェハーガード W-Seal 集積ガスフィルター
  • 集積型ガスパネル用。
  • 1.5W-seal、1.125W-seal に対応。
ウェハーガードⅡFマイクロインラインガスフィルター
PTFEメンブレン、30NL/min
  • コンパクト設計。
  • 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上除去。
  • 特殊洗浄とベーキングを施したクリーンな製品。
  • 高品位316Lステンレス製ハウジング。
ウェハーガードミニXLインラインガスフィルター
PTFEメンブレン、100NL/min
  • 狭い場所にも設置できるコンパクト設計。
  • 特殊電解研磨仕上げもご用意。
ウェハーガードMAX インラインガスフィルター
PTFEメンブレン、1000NL/min
  • コンパクトで高流量を実現。
  • 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上除去。
  • 特殊洗浄を施したクリーンな製品。
  • 高品位316Lステンレス製ハウジング。
ウェハーガードMAX-1000インラインガスフィルター
PTFEメンブレン、1000NL/min、大容量
  • 目詰まりの早いプロセス向けにデザインされた大容量タイプ。
  • 0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上除去。
  • 316Lステンレス製ハウジング。