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SmartStack HWS300
300mmウェーハを積み重ねて収容するパッケージ
2170-5492j-0710.pdf
(426134)
ウェーハを積み重ねて収容
イオン抽出/アウトガスが少ない材質
ESD対応
キネマティックカップリング
専用のクッション、インサートをご用意
主な仕様
ウェーハサイズ
300 mm
収容枚数
1~25 枚
材 質
STAT-PRO 100M
外形寸法
330(L)×330(W)×88(H) mm
重さ
1.8 kg
型 番
HWS300-G2-61C02B
オプション
クッション
インサート
オールインワンキット
発泡ポリエチレン(100枚)
ポリエチレン不織布(250枚)
HWS300 (1個)
クッション (15枚)
インサート (26枚)
ダンボール箱 (1個)
緩衝材 (2個)
ESDバッグ (1袋)
HWS300-100-CCPF
HWS300-3LR500-INS
HWS300-1PACK-KIT
2170-5930J.pdf
2170-5635J.pdf