複数のバルブをマニホールドに組み込んだ、カスタム仕様のバルブユニットです。
薬液供給ラインのコンパクト化、部品点数の削減、シール箇所の削減により、COO(所有者コスト)の低減およびOEE（全体的装置稼働率）の向上に寄与します。
サーフェイスマウント方式 インテグリス独自のFlareMountテクノロジーにより、マニホールドの自由度が高く、信頼性、メンテナンス性、拡張性に優れたサーフェイスマウント方式を実現。
信頼性の向上 チューブ接続によるシール箇所を最小限にすることが可能です。また、FlareMountは、O-リングなどのシール材を使用していません。マニホールドブロックは耐薬品性に優れたPFAまたはPTFE製です。
メンテナンス性と拡張性の向上 バルブ単体の交換が可能で、しかも容易です。また、未使用のポートをプラグすることも可能ですので、将来的な拡張にも対応できます。
コンパクトデザイン FlareMountには、シングルとデュアルがあります。 複数の異なるバルブの組合せが可能で、複雑な流路構成をコンパクトなスペースに収めることが可能です。