LED（light emitting diodes）は、電流を流すと発光する半導体素子の一種で、低消費電力、長寿命、小型、量産性などの特長を有することから、様々な電子機器に応用されています。近年、高輝度化、白色LEDの登場によって屋外の大型ディスプレイ、信号機、各種の照明源など、その用途は広がっています。また、液晶テレビのバックライトとして急速に需要が拡大しています。
インテグリスは高輝度LEDに必要とされるプロセスガス中の不純物除去、化合物半導体ウェーハの高度な保護を提供します。
MOCVDによるエピタキシャル
化合物半導体ウェーハの出荷