インテグリスは、半導体産業で使用される貴重な材料を精製、保護、搬送する製品を、幅広く提供しています。
また、次世代のプロセス、環境ニーズを満たすためのイノベーティブな製品を市場に投入し続けています。
私たちのグローバルなアプリケーションサポートおよびサービス能力は、マテリアル品質保持管理における「ベストソリューション」を提供し続けます。
ウェーハ製造後の出荷、ウェーハ処理工程内搬送
洗浄、ウェットエッチング、ポリマ除去、レジスト剥離などのウェーハ表面処理工程
熱処理成膜、CVD、ドライエッチングなどのドライプロセス
レジスト、現像液、反射防止膜、層間絶縁膜、保護膜の塗布工程、露光工程
スラリーを用いた平坦化工程
完成品ウェーハおよび半導体チップの検査、組立工程