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半導体業界における450mmへの移行とEUVプロセスの導入を後押し

2011年5月19日マサチューセッツ州ビレリカ発：　米国インテグリス社（NASDAQ:ENTG）は本日、450mm半導体ウェーハのハンドリング製品と極端紫外線（EUV）レチクルポッドを生産するための先端技術製造施設を、コロラド州コロラドスプリングスに開設する計画を発表した。この新施設では、半導体産業における 300mmウェーハから450mmウェーハへの移行に合わせて、ウェーハハンドリング製品を開発、製造する。計画中の施設は、40,000平方フィート (約3716平方メートル) の敷地を有し、年内の操業開始を目指している。これにより、コロラドスプリングスにおけるインテグリスの製造設備がさらに拡張されることになる。
 
「大手半導体メーカーの多くが、北米の次世代ファブにおいて450mmへの移行計画を打ち出しており、インテグリスでも、それらの大口径ウェーハを出荷、搬送するためのソリューションを開発するべく、大手半導体メーカーや業界の関係団体と協力して取り組んでいます。」と、インテグリスの副社長兼マイクロエンバイロメント部門統括マネージャーであるビル・シェーナー（Bill Shaner）は述べている。「私たちのお客様が450mm事業の整備を加速するなかで、インテグリスの新施設は、お客様のニーズを満たす優れたソリューションを提供していくという強い決意を象徴しています。コロラドスプリングスを選んだのは、すでにウェーハハンドリング技術と製造に関する専門技術が備わっており、主要顧客に近い場所であること、そして Colorado Springs Regional Economic Development Corporation（コロラドスプリングス地域経済開発公社）から提供された素晴らしいサポートを考慮した結果です。」
 
この先端技術製造施設で製造される製品は、450mmへの大口径化にあたって半導体メーカーが直面する搬送における課題の多くを解決するとみられる。インテグリスの450mmウェーハシッパーおよびキャリアの使用により、半導体メーカーは、オートメーション工程を最適化し、現在使用されている1.5倍の大きさのウェーハを取り扱うことができるようになる。新たにリースした施設は、EUVリソグラフィ製品の開発、生産にも使用される予定である。EUVリソグラフィは、半導体業界が開発を進めている新技術であり、これによって、より微細で高性能な半導体チップの製造が可能となる。インテグリスのレチクルポッドは、半導体の生産ラインで使用されるレチクルを、リソグラフィ工程における汚染から保護するための製品である。
 
「インテグリス社が、コロラドスプリングスに先端技術製造施設のオープンを決めたことはとても喜ばしいことです」と語るのは、Colorado Springs Regional Economic Development Corporation の社長兼CEOの Mike Kazmierski 氏である。「インテグリスは、この地域に質の高い職を提供するグローバルな最先端企業であるだけではなく、今回の決定を通して、今後高度成長を遂げていく技術系企業にとって、コロラドスプリングスが絶好のロケーションであり続けることに太鼓判を押してくれたのです。」
 
インテグリスは、この新規開発計画をコロラドスプリングスで実現させるべく、Colorado Springs Regional Economic Development Corporation と連携を図っている。新施設の開設に伴い、インテグリスは、向こう5年間に、コロラドスプリングスに推定100件の雇用創出を予定している。現在、コロラドスプリングスでは200人、世界全体では2,900人が、インテグリスの従業員として就業している。
 
※ 本資料は、2011年5月19日付けで米国インテグリス社が発表したニュースリリースを日本語に翻訳したものです。

インテグリス社について
インテグリス社は、半導体およびハイテク分野で使用される貴重な材料を精製、保護、搬送する 製品・サービスを提供する世界有数のサプライヤーです。インテグリスグループは世界10カ国（米国、フランス、ドイツ、イスラエル、マレーシア、シンガポール、中国、台湾、韓国、日本）に製造工場、サービスセンター、研究施設を構える世界規模のインフラを有しています。更に詳しい情報は、www.entegris.com をご覧ください。

COLORADO SPRINGS REGIONAL ECONOMIC DEVELOPMENT CORPORATIONについて
コロラドスプリングス地域の雇用を創出、支援するための民間非営利法人です。詳しい情報は、www.coloradosprings.org をご覧ください。