「第15回SOPTシンポジウム」のご案内
(Published: Thursday, September 30, 2010)
ピューリフィケーション研究会（通称SOPT）は、半導体および応用デバイスの量産化技術に求められるクリーン化技術、即ちピューリフィケーション（清浄化）技術について、情報提供、技術討論、技術交流の場を産学が連携して提供しています。
詳しくはこちら．．． http://www.puriken.org/about.htm
この度、「第15回SOPTシンポジウム」が開催されることになりましたので、ご案内申し上げます。
日本インテグリスは、ピューリフィケーション研究会の活動を支援しています。
＝＝＝＝＝ 第15回SOPTシンポジウム 開催概要 ＝＝＝＝＝＝＝＝
＝＝＝＝＝ 第15回SOPTシンポジウム プログラム（敬称略）＝＝＝＝
| 時間 | 講演タイトル | 講師 |
| 10:00-10:10 | 開会の挨拶 | SOPT委員長 | |
| | 九州大学大学院システム情報科学研究院 | 浅野種正 |
| 10:10-11:10 | 「三次元LSIにおけるTSVドライエッチング加工技術」 |
| | パナソニックファクトリーソリューションズ（株）開発センター | 有田 潔 |
| 11:15-12:15 | 「MEMS材料の特性評価とその国際標準化動向」 |
| | 熊本大学大学院 自然科学研究科・産業創造工学専攻 | 高島和希 |
| 13:00-14:30 | 「産業技術の主役交替、“LSI”から“有機エレクトロニクス”へ？」 |
| | 熊本県産業技術センター 産業技術顧問 | 柏木正弘 |
| 14:50-15:50 | 「フィルム基板薄膜太陽電池とその応用」 |
| | 富士電機システムズ（株）エネルギーソリューション本部 | 吉田 隆 |
| 15:50-16:50 | 「オールフッ素樹脂ホロファイバーフィルターの性能と評価について」 |
| | 日本インテグリス（株）応用技術開発本部 | 神山 哲 |
| 16:50-17:00 | 閉会の辞 | SOPT事務局長 | |
| | 日本インテグリス(株) | 二ノ宮敏裕 |
| | 総合司会 | SOPT副委員長 | |
| | （株）オジックテクノロジーズ 取締役技術本部長 | 園田信夫 |