「第11回SOPT Q&Aセミナー」のご案内
(Published: Thursday, March 27, 2008)
ピューリフィケーション研究会（通称SOPT）は、半導体および応用デバイスの量産化技術に求められるクリーン化技術、即ちピューリフィケーション（清浄化）技術について、情報提供、技術討論、技術交流の場を産学が連携して提供しています。
詳しくはこちら．．． http://www.puriken.org/about.htm
この度、「第11回SOPT Q&Aセミナー」が開催されることになりましたので、ご案内申し上げます。
日本インテグリスは、ピューリフィケーション研究会の活動を支援しています。
＝＝＝＝＝ 第11回SOPT Q&Aセミナー 開催概要 ＝＝＝＝＝＝＝＝
＝＝＝＝＝ 第11回SOPT Q&Aセミナー プログラム（敬称略）＝＝＝
| 時間 | 講演タイトル | | 講師 |
| 9:50-10:00 | 開会の挨拶 | SOPT副委員長 | |
| | 九州大学大学院システム情報科学研究院 | 宮尾正信 |
| 10:00-10:30 | 「金属不純物および結晶欠陥の影響のデバイスによる違い」
--先端MOSデバイスとパワーデバイスの比較を中心として-- |
| | 三菱電機(株)パワーデバイス製作所 | 山本秀和 |
| 10:30-12:00 | 「これなら分かる半導体製造プロセス」 --紙芝居で見るトランジスタ形成・多層配線-- |
| | 半導体産業新聞 | 松下晋司 |
| 13:00-14:30 | 「クリーンルームの環境制御技術動向」 --汚染・静電気・CO2削減-- |
| | (株)テクノ菱和 技術開発研究所 | 田村 一 |
| 14:40-15:50 | 「3次元LSIを含めた先端デバイスの動向」 |
| | 九州大学大学院システム情報科学研究院 | 浅野種正 |
| 15:50-16:50 | 「TSTによるレジストディスペンスの基礎と応用」 |
| | 日本インテグリス(株) | 本間 仁
|
| 16:50-17:00 | 閉会の辞 | SOPT事務局長 | |
| | | 日本インテグリス(株) | 二ノ宮敏裕 |
| | 総合司会 | SOPT副委員長 | |
| | | 三菱電機(株)パワーデバイス製作所 | 園田信夫 |