「セミコン・ジャパン2010」出展のご案内
(Published: Monday, November 01, 2010)
日本インテグリスは半導体製造に係わる精製・保護・搬送関連製品の最先端テクノロジーに係わる製品と技術を紹介します。 日本インテグリスのブースへ是非お立ち寄りください。 |  |
《展示会概要》
名称：
会期：
会場：
ブースNo.：
主催：
公式サイト： | セミコン・ジャパン2010
2010年12月1日(水)-3日(金) 10：00-17：00
幕張メッセ
3A-406（ホール3）
SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）
『セミコン・ジャパン2010』オフィシャルWebサイト |  |
《主な出展予定製品》
| ウェーハ/マスク ハンドリング関連製品 |
| 450mmウェーハ マルチキャリア | (参考) | 450mm HMAC
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| 300mmウェーハ工程内搬送容器 | | スペクトラ FOUP |
| 200mmウェーハ SMIFポッド | | M200 |
| 薄型150mmウェーハ 出荷容器 | (New) | ウルトラパック |
| EUVレチクルポッド | (参考) | EUV-1000 |
| PEEK製 レチクルポッド | | RSP200 |
| フォトリソグラフィ関連製品 |
| UPE製 フィルター | | インパクト2 V2 Asy/Duo/PCM |
| 10nm ナイロン製 フィルター | | インパクト2 V2 Nylon |
| 5nm UPE製 10" フィルター | | マイクロガード Plus LE |
| 10nm ナイロン製 10" フィルター | | マイクロガードLE Nylon |
| RGID対応 ディスペンスシステム | (参考) | インテリジェン AFS |
| 高粘度薬液用 ディスペンスシステム | (New) | インテリジェン HV |
| 洗浄・剥離 / CMP関連製品 |
| SPM用 15nmディスポーザブルフィルター | (New) | トレント SPM |
| 金属イオン除去フィルター | | プロテゴ Plus |
| メンブレンコンタクター | | フェイザーⅡ |
| バルクスラリー用フィルター | (New) | プレナガード NMB |
| フローコントローラ | | NT6510 |
| 高流量対応 PFAライニングバルブ |
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| ドライエッチ / 成膜関連製品 |
| 高流量ガスフィルター | (New) | ウェハーガード MAX-1000 |
| ガス精製器 | (New) | MR ピューリファイヤー |
| ガスケット型 ガスフィルター |
| ガスケットガード |
| ガスディフューザー | | チャンバーガードⅡ |
この他にも色々な最新製品を展示する予定です。
注）出展製品は予告無く変更される場合がありますので、予めご了承ください。