「セミコン・ジャパン2008」出展のご案内
(Published: Thursday, October 30, 2008)
日本のお客様に支えられて、日本インテグリスは創立40周年を迎えました。
今年も精製・保護・搬送に関わる最先端ソリューションとテクノロジーを紹介します。
日本インテグリスブースへ是非お立ち寄りください。 |  |
《展示会概要》
《主な出展予定製品》
| ウェーハ/マスク/太陽電池 ハンドリング関連製品 |
| 次世代 シングルウェーハシッパー | 450mmシングルウェーハシッパー |
| SEMI規格準拠FOSB | SB300 |
| 300mm用FOUP | スペクトラ |
| PEEK製レチクルポッド | RSP200 |
| 太陽電池用キャリア | (New)PA156 キャリア |
| フォトリソグラフィ関連製品 |
| レチクルヘイズ ソリューション | クラリライト |
| 第四世代小型ケミカルディスペンスシステム | インテリジェン ミニ |
| レジスト用高性能ワンタッチフィルター | (New)インパクト2 Asy 5nm |
| 不活性ガスのハイドロカーボン・酸・塩基性不純物除去 | (New)ルミナスガード4000 |
| 洗浄・剥離 / CMP関連製品 |
| 薬液用 15nm 高除去率フィルター | (参考出展)トレントPlus 1500/3000 ディスポ |
| バッチ洗浄用 20nm高除去率・高流量 薬液用フィルター | トレントATE ディスポ |
| 発泡性薬品・小流量対応 液体用フローコントローラ | NT® 6510 |
| 高流量対応、コンパクトなベローズポンプ | EJ90E |
| CMP用フィルター | ソラリスCL / プレナガードCL |
| CMP後洗浄用ブラシ | プレナコア |
| 熱交換モジュール | フェイザーHEX |
| ガス溶解モジュール | フェイザー2 |
| ドライエッチ / 成膜関連製品 |
| 集積ガスフィルター | ウェハーガードSL 1.125” W-seal |
| 高流量インラインガスフィルター | ラインガード |
| インライン型ガス精製器 | GateKeeper® |
| 真空ブレーク用フィルター | ウェハーガード ディフューザー |
この他にも色々な最新製品を展示する予定です。
注）出展製品は予告無く変更される場合がありますので、予めご了承ください。