「セミコン・ジャパン2007」出展のご案内
(Published: Monday, October 15, 2007)
日本インテグリスは、「Entegris does. So you can. 解決力は、未来力へ。」
をテーマに、45nm量産プロセスに向けた最先端テクノロジーを紹介します。 |  |
《展示会概要》
《主な出展予定製品》
| ウェーハ／レチクルハンドリング関連製品 －出荷・搬送環境のクリーン化－ |
| 次世代ウェーハ出荷容器 | 450mmシングルウェーハシッパー |
| SEMI規格準拠FOSB | SB300 |
| 300mm用FOUP | スペクトラ |
| 新開発PEEK製レチクルポッド | RSP200 |
| ESD対応フィルムフレームシッパー | E400シリーズ |
| フォトリソグラフィ関連製品 －先端リソグラフィにおけるディフェクト低減－ |
| フォトケミカル用POUフィルター | (New)インパクト 10nm フィルター |
| ケミカルディスペンスシステム | インテリジェン ミニ |
| ケミカルエアフィルター | VaporSorb シリーズ |
| レチクルヘイズ ソリューション | (New)クラリライト |
| 洗浄・剥離 / CMP関連製品 －45nmを支える微細化/高流量化技術－ |
| 20nm 高流量フィルター | (New)トレントATE |
| 液体中の金属イオン除去 | プロテゴ |
| 高流量ベローズポンプ | EJ90 |
| 薬液・スラリー用フローコントローラ | NT6520 |
| 高温用バルブ | インテグラ |
| CMPスラリー用フィルター | プレナガードCL / ソラリスCL |
| ドライエッチ / 成膜関連製品 |
| 高性能ガスフィルター | ウェハーガード |
| 真空ブレーク用フィルター | ディフューザー |
この他にも色々な最新製品を展示する予定です。
注）出展製品は予告無く変更される場合がありますので、予めご了承ください。