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「セミコン・ジャパン2007」出展のご案内

(Published: Monday, October 15, 2007)
日本インテグリスは、「Entegris does. So you can. 解決力は、未来力へ。」
をテーマに、45nm量産プロセスに向けた最先端テクノロジーを紹介します。
semicon Japan 2007

《展示会概要》

名称:
会期:
会場:
ブースNo.:
主催:
公式サイト:
セミコン・ジャパン2007
2007年12月5日(水)-7日(金) 10:00-17:00
幕張メッセ
2B-501(ホール2)
SEMIジャパン
『セミコン・ジャパン2007』オフィシャルWebサイト
Semicon Japan 2007

《主な出展予定製品》

ウェーハ/レチクルハンドリング関連製品 -出荷・搬送環境のクリーン化-
次世代ウェーハ出荷容器450mmシングルウェーハシッパー
SEMI規格準拠FOSBSB300
300mm用FOUPスペクトラ
新開発PEEK製レチクルポッドRSP200
ESD対応フィルムフレームシッパーE400シリーズ
フォトリソグラフィ関連製品 -先端リソグラフィにおけるディフェクト低減-
フォトケミカル用POUフィルター(New)インパクト 10nm フィルター
ケミカルディスペンスシステムインテリジェン ミニ
ケミカルエアフィルターVaporSorb シリーズ
レチクルヘイズ ソリューション(New)クラリライト
洗浄・剥離 / CMP関連製品 -45nmを支える微細化/高流量化技術-
20nm 高流量フィルター(New)トレントATE
液体中の金属イオン除去プロテゴ
高流量ベローズポンプEJ90
薬液・スラリー用フローコントローラNT6520
高温用バルブインテグラ
CMPスラリー用フィルタープレナガードCL / ソラリスCL
ドライエッチ / 成膜関連製品
高性能ガスフィルターウェハーガード
真空ブレーク用フィルターディフューザー

この他にも色々な最新製品を展示する予定です。


注)出展製品は予告無く変更される場合がありますので、予めご了承ください。