「セミコン・ジャパン2009」出展のご案内
(Published: Wednesday, October 07, 2009)
半導体製造に係わる精製・保護・搬送関連製品の最先端テクノロジーに加え、グラファイト、シリコンカーバイトの精製・加工技術および太陽電池やMEMS製造に係わる製品と技術を紹介します。 日本インテグリスのブースへ是非お立ち寄りください。 |  |
《展示会概要》
名称：
会期：
会場：
ブースNo.：
主催：
公式サイト： | セミコン・ジャパン2009
2009年12月2日(水)-4日(金) 10：00-17：00
幕張メッセ
3A-304（ホール3）
SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）
『セミコン・ジャパン2009』オフィシャルWebサイト |  |
《主な出展予定製品》
| ウェーハ/マスク ハンドリング関連製品 |
| 450mmウェーハ出荷・工程内搬送容器 | (参考出展) | 450mm FOUP/FOSB |
| 300mmウェーハ出荷容器 | | SB300 FOSB |
| 300mmウェーハ工程内搬送容器 | | スペクトラ FOUP |
| ウェーハ容器内の水分・酸素を低減 | (参考出展) | クラリライト・ウェーハ |
| 業界初EUVマスクポッド | (参考出展) | EUV-1000 |
| 低アウトガスレチクル出荷容器 | (New) | SMP625 |
| フォトリソグラフィ関連製品 |
| POU用ワンタッチフィルター | (New) | インパクト2 UPE 5nm / Nylon 10nm |
| バルク用カートリッジフィルター | (New) | マイクロガードLE Nylon 10nm |
| 高性能ケミカルディスペンスシステム | | インテリジェン ミニ |
| 洗浄・剥離 / CMP関連製品 |
| 薬液用 15nm フィルター | (New) | トレントPlus 1500/3000 |
| 薬液用高清浄 20nm フィルター | (New) | フロロガードUCM ATE |
| 純水・温純水用金属イオン除去フィルター | (New) | プロテゴPlus |
| 液体用フローコントローラ | | NT® 6510/6520 |
| 高流量対応バルブ | (New) | 1.5"-2" オリフィス バルブ |
| 省スペース対応バルブ | (New) | CR8/CH8 1/4"-3/4" オリフィス バルブ |
| CMPスラリー用フィルター | (New) | プレナキャップKPX |
| CMP用リテーナーリング | (New) | プレナエッジ |
| CMP後洗浄用ブラシ | | プレナコア |
| ドライエッチ / 成膜関連製品 |
| ロードロック／プロセスチャンバー用ディフューザー | (New) | チャンバーガード2 ディフューザー |
| インラインガスフィルター | (New) | ウェハーガード2 SF 3XP |
| インライン型ガス精製器 | | GateKeeper® |
| 不活性ガス中のハイドロカーボン・酸・塩基性不純物除去 |
| ルミナスガード |
| 太陽電池 / MEMS関連製品 | | |
| 太陽電池用ウェーハキャリア | | PA156 キャリア |
| 高流量インラインガスフィルター | (New) | ウェハーガードSG |
| 高粘度ケミカルディスペンスシステム | (参考出展) | インテリジェンHV |
| グラファイト / SiC 製品 |
| 超高純度グラファイト製品 | | 高純度材料用るつぼ |
| Super SiC 製品 | | プロセス用ウェーハキャリア |
この他にも色々な最新製品を展示する予定です。
注）出展製品は予告無く変更される場合がありますので、予めご了承ください。