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レチクル/マスク容器

RSP-150 レチクルSMIFポッド

150mm SMIF 仕様のレチクル搬送・保管容器

RSP-200 レチクルSMIFポッド
 

200mm SMIF 仕様のレチクル搬送・保管容器

SMP625 マスクパッケージ

自動化対応、150mmマスク容器

H92シリーズ

マスク容器(ポリカーボネート製)

H60シリーズ
 

マスク容器(ポリプロピレン製)

A189シリーズ

マスクキャリアボックス