CMP装置に使用されるブラシは定期的に交換が必要となる消耗品です。
インテグリスはCMPスラリーの流体制御における長年の実績とマテリアルサイエンスを駆使して、プロセスの歩留まりと装置稼働率の向上に寄与する新たなソリューションをご提案します。
CMP後のウェーハ表面クリーニング