インテグリスは、半導体などのハイテク分野で使用される高純度薬品、スラリー、純水などの流体を移送、制御、保護する製品を多岐に渡って提供します。 インテグリスのフルイドハンドリング製品には、バルブ、継手、薬品コンテナー、フローコントローラ、ベローズポンプなどがあり、バルク薬品の製造工程からデバイス製造装置の使用点(POU)に至るまで、マテリアル品質保持管理に係わるソリューションを、一貫して提供します。
インテグリスのフルイドハンドリング製品
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これ以外のフルイドハンドリング製品をお探しの場合は、専用サイト(www.entegrisfluidhandling.jp)をご覧ください。
ダイアフラムバルブ
ソレノイドバルブ
ニードルバルブ
ストップバルブ
チェックバルブ
フレアテック
フレアロックⅡ
ピュアボンド
クイックグリップ
ガルテック
液体用フローコントローラ
液体用フローメータ
液体用圧力トランスデューサ
EJシリーズ
Kシリーズ
Gシリーズ
フロロピュア シリーズ
純水スプレーガン
液浸露光用
低粘度用(フォトレジストなど)
高粘度用(ポリイミドなど)