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製品情報

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液体の移送・制御

インテグリスは、半導体などのハイテク分野で使用される高純度薬品、スラリー、純水などの流体を移送、制御、保護する製品を多岐に渡って提供します。
インテグリスのフルイドハンドリング製品には、バルブ、継手、薬品コンテナー、フローコントローラ、ベローズポンプなどがあり、バルク薬品の製造工程からデバイス製造装置の使用点(POU)に至るまで、マテリアル品質保持管理に係わるソリューションを、一貫して提供します。

 

インテグリスのフルイドハンドリング製品

製品タイトルをクリックすると専用サイトが別ウインドウで表示されます。

これ以外のフルイドハンドリング製品をお探しの場合は、専用サイト(www.entegrisfluidhandling.jp)をご覧ください。

バルブ
Integra

ダイアフラムバルブ

ソレノイドバルブ

ニードルバルブ

ストップバルブ

チェックバルブ

継手
Flaretek

フレアテック

フレアロックⅡ

ピュアボンド

クイックグリップ

ガルテック

センシング&制御
NT6510

液体用フローコントローラ

液体用フローメータ

液体用圧力トランスデューサ

ベローズポンプ
EJ Pump

EJシリーズ

Kシリーズ

Gシリーズ

薬品コンテナー
FluoroPure

フロロピュア シリーズ

スプレー製品

純水スプレーガン

超純水システム
LiquidLense

液浸露光用

ディスペンスシステム
IntelliGen Mini Encompass HV

低粘度用(フォトレジストなど)

高粘度用(ポリイミドなど)