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液体の移送・制御

インテグリスは、半導体などのハイテク分野で使用される高純度薬品、スラリー、純水などの流体を移送、制御する製品を多岐に渡って提供します。
インテグリスのフルイドハンドリング製品には、バルブ、継手、薬品コンテナ、フローコントローラなどがあり、バルク薬品の製造工程からデバイス製造装置の使用点(POU)に至るまで、マテリアル品質保持管理に係わるソリューションを、一貫して提供します。

 

インテグリスのフルイドハンドリング製品

これ以外のフルイドハンドリング製品をお探しの場合は、専用サイト(www.entegrisfluidhandling.jp)をご覧ください。

バルブ
Integra

ダイヤフラムバルブ

マニホールドバルブ

ニードルバルブ

ストップコックバルブ

チェックバルブ

継手
Flaretek

フレアテック

フレアロックⅡ

ピュアボンド

クイックグリップ

ガルテック

薬品コンテナ
FluoroPure

ケミカルドラム

IBCコンテナ

加圧容器

センシング&制御
NT6510

液体用フローコントローラ

液体用フローメータ

液体用圧力トランスデューサ

ディスペンスシステム
IntelliGen Mini Encompass HV  

低粘度用(フォトレジストなど)

高粘度用(ポリイミドなど)

ベローズポンプ

EJシリーズ

NSシリーズ