インテグリスは、超高純度ガスの供給ラインから局所クリーン化に至るまで、さまざまなガスのろ過・精製のニーズにお応えする、ガスフィルター／ピューリファイヤー、ケミカルフィルター製品を提供します。
プロセスガス、パージガス、バルクガス中のパーティクルを除去
プロセスガス、パージガス中のパーティクルと不純物を除去
リソグラフィ装置内を分子状汚染物質から保護
真空チャンバーの大気開放時におけるパーティクルの巻き上げ防止
複数の精製ユニットを内蔵し、自動的に再生するガス精製システム