インテグリスは、高純度薬品、フォトケミカル、ファインケミカル、CMPスラリー、純水・超純水など、エレクトロニクス分野で使用される各種液体のろ過・精製のニーズにお応えする、フィルター製品を提供します。
研究開発用途からバルク製造、そしてデバイス量産プロセスに至るまで、シームレスな移行をサポートします。
PTFEメンブレンまたはPFAメディアを使用したフィルター
超高分子量ポリエチレン（UPE）メンブレンを使用したフィルター
ポリプロピレン（PP）繊維を使用したフィルター
ポリスルフォン（PSF）またはポリエーテルスルフォン（PES）メンブレンを使用したフィルター
イオン交換メディアを使用した金属イオン除去フィルター
カートリッジフィルター用ハウジング、簡易交換型フィルター用マニホールド
大型基板洗浄などの大流量アプリケーション用に開発されたフィルター
ディスクフィルターなどの少量サンプルろ過