インテグリスは、高純度ガスの供給から局所クリーン化に至るまで、さまざまなガスのろ過・精製のニーズにお応えする、ガスフィルター、ガスピューリファイヤー、ケミカルフィルターを提供します。
また、分子状汚染物質（AMCc: Airbone Molecular Contaminants）の分析サービスも提供します。
インテグリスのガスフィルター関連製品
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www.mykrolis.com/nihon
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カスタマーサービス <jp-info@entegris.com>
クラリライト
レチクルのヘイズによるパターン不良やレチクルの洗浄サイクルを大幅に改善する、業界初のソリューション。
FOUPパージガス精製
保管中のウェーハを、揮発性不純物によるケミカル汚染から保護します。