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エアロネクス ガス精製システム AGPS-Z2シリーズ

CDA用自動精製システム、5000SLM
 
エアロネクス ガス精製システム AGPS-Z2シリーズ
  • 露光装置やFOUP/レチクルストッカーのCDAパージ用に設計されたシステム。
  • ＣＤＡ中の水分を1ppb、揮発性塩基を10ppt、その他の汚染物質を1ppt未満に制御。
  • 複数の精製ユニットを搭載しており、再生・供給サイクルを自動制御。
  • 精製ユニットを交換することなく、長期の連続運転を実現。
  • 最高使用流量は5000SLM。
 
エアロネクス ガス精製システム AGPS-Z2シリーズ
使用ガス
 CDA（クリーンドライエア）
除去対象不純物
 揮発性酸、揮発性塩基、難燃性化合物、凝縮性有機物、水分
二次側不純物清浄度
 H2O<1ppb, 揮発性塩基<10ppt, その他の汚染物質<1ppt
二次側粒子清浄度
 ISOクラス１
使用圧力範囲
 0.55-1.0 MPa
最高使用流量
 5000SLM
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