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エアロネクス ガス精製システム EGPS-Zシリーズ

CDA用自動精製システム、120/500/1000SLM
 
エアロネクス ガス精製システム EGPS-Zシリーズ
  • 露光装置のレンズ曇り防止、ミニエンのクリーン環境維持に有効なシステム。
  • CDA中のハイドロカーボン等の不純物を1ppb以下に制御。
  • 2本の精製ユニットを搭載しており、再生・供給サイクルを自動制御。
  • 精製ユニットを交換することなく、長期の連続運転を実現。
  • 最高使用流量は120SLM、500SLM、1000SLMの3種類をご用意。
 
エアロネクス ガス精製システム EGPS-Zシリーズ
使用ガス
 CDA（クリーンドライエア）
除去対象不純物
 揮発性酸、揮発性塩基、難燃性化合物、凝縮性有機物、水分
不純物清浄度
 1 ppb 以下
粒子除去効率
 0.003μm以上の粒子を99.9999999%除去
使用圧力範囲
 0.4-1.0 MPa
最高使用流量
 120SLM、500SLMまたは1000SLM