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ゲートキーパー ガスピューリファイヤー

不活性ガスおよびプロセスガス中の不純物除去
mds0414.pdf (201883)
 
ゲートキーパー ガスピューリファイヤー
  • ガス中の不純物をPPTレベルに低減。
  • 不活性ガス、腐食性ガス、ハイドライドガス、COなどの各ガス種に対応。
  • 1SLMから1000SLMまでの各種サイズをご用意。
 
ゲートキーパー ガスピューリファイヤー
除粒子サイズ
 0.003 µm
材質
 フィルター：SUS316Lまたはニッケル

ハウジング：SUS316L
常用圧力
 0 ～ 1 MPa
使用温度
 -40 ～ 65°C
Heリークレート
 1 × 10-9 atm mL/sec
ガス種
 不純物除去レベル
腐食性ガス用
 <1 ppb H2O in N2
水素用
 <1 ppb O2, CO2, H2O
不活性ガス用
 <1 ppb H2, CO, CO2; <100 ppt H2O, O2
Non-Reactiveガス用
 <1 ppb H2O; <1 ppt NMHC
光学系パージガス用
 <1 ppb H2S, H2O, CO2, アミン, 酸性ガス, アルコール

<100 ppt NOx, <10 ppt NH3

<1 ppt NMHC, シロキサン, SO2
ハイドライドガス用
 <1 ppb O2, CO2, H2O
CO用
 <1 ppb H2O, 金属カルボニル
腐食性ガス用
 CE30KFC4R CE75KFC4R CE100KFC4R CE300KFC4R CE500KFC4R CE700KFC4R CE2500KFC4R
水素用
 CE30KFH4R CE75KFH4R CE100KFH4R CE300KFH4R CE500KFH4R CE700KFH4R CE2500KFH4R CE10MHH8Y
不活性ガス用
 CE30KFI4R CE75KFI4R CE100KFI4R CE300KFI4R CE500KFI4R CE700KFI4R CE2500KFI4R CE10MHI8Y
Non-Reactiveガス用
 CE30KFN4R CE75KFN4R CE100KFN4R CE300KFN4R CE500KFN4R CE700KFN4R CE2500KFN4R CE10MHN8Y
光学系パージガス用
 CE75KFO4R CE300KFO4R CE500KFO4R CE700KFO4R CE2500KFO4R CE10MHO8Y
ハイドライドガス用
 CE30KFSK4R CE75KFSK4R CE100KFSK4R CE300KFSK4R CE500KFSK4R CE700KFSK4R CE2500KFSK4R CE10MHSK8Y
CO用
 CE30KFLK4R CE75KFLK4R CE300KFLK4R CE500KFLK4R CE700KFLK4R CE2500KFLK4R CE10MHLK8Y

ご使用条件から製品を選択、ライフタイムを予測するツールをオンラインで提供しています。