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ルミナスガード ガスピューリファイヤー

不活性ガス中のハイドロカーボン、酸・塩基性不純物を除去
ec0407.pdf (177512)
 
ルミナスガード ガスピューリファイヤー
  • 光学系のガスパージライン用に開発された製品。
  • 不活性ガス中のハイドロカーボン、酸・塩基性不純物を99.9％以上除去。
  • フィルターを内臓しており、パーティクルも同時に除去。
  • 初期有機物放出量を極限まで抑えたクリーンな製品。
 
ルミナスガード ガスピューリファイヤー
材質
 ニッケル（30NL/min用）またはPTFE（200, 500NL/min用）

精製剤：高清浄度活性炭

ハウジング：SUS304/316L
不純物捕捉率
 ガス状有機系：99.9%以上（C6以上のハイドロカーボン、酸・塩基性不純物）

粒子：99.9999％以上（0.01µm以上の粒子）
初期清浄度
 ガス状不純物：1ppb以下（C6以上のハイドロカーボン）

粒子：0.03個/L以下（0.01µm以上の粒子）
推奨流量
 30, 200, 500 NL/min
最高使用圧力
 0.97 MPa （30NL/min用）
最高使用温度
 50 ℃
製品型番
 LPDNACRR2 LPDF10RR4 LPDF20RR4 LPDF20SS4