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製品情報

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フロロガードRSフィルター

フォトレジスト剥離および残渣物除去用フィルター
mc0311.pdf (185630)
 
フロロガードRSフィルター
  • 汚染物の形態に合わせた3タイプをご用意。
  • 　PRS：プレフィルター
  • 　RST：メンブレンフィルター
  • 　RSM：プレフィルター＋メンブレンフィルター
  • カートリッジタイプとディスポーザブルタイプをご用意。
  • 耐薬品性に優れたオールフッ素樹脂製フィルター
 
フロロガードRSフィルター
材質
 フィルター：PTFE

コア、スリーブ、サポート：PFA

ハウジング：PFA

O-リング：被覆EPDM

ケムロックキー：PFA
最高使用圧力
 0.34 at 25℃
最大許容正差圧
 0.27 MPa at 25℃
最大許容逆差圧
 0.27 MPa at 25℃
最高使用温度
 150 ℃
除粒子孔径
 PRS：40 µm

RST：0.05, 0.1, 0.2 µm

RSM：0.05, 0.1, 0.2 µm
膜面積
 PRS：1.4 m2

RST：1.3 m2

RSM：0.65 m2
フロロガードPRS
 CTPR01P01 CTPR01P01K

CDPR01PTW CDPR01P THCDPR01PTP CDPR01PLH CDPR01PT3 CDPR01PTT
フロロガードRST
 CTTZ01P01 CTTZ01P01K CTTV01P01 CTTV01P01K CTTG01P01 CTTG01P01K

CDTZ01PTW CDTZ01PTH CDTZ01PTP CDTZ01PLH CDTZ01PT3 CDTZ01PTT CDTV01PTW CDTV01PTH CDTV01PTP CDTV01PLH CDTV01PT3 CDTV01PTT CDTG01PTW CDTG01PTH CDTG01PTP CDTG01PLH CDTG01PT3 CDTG01PTT
フロロガードRSM
 CTPZ01P01 CTPZ01P01K CTPV01P01 CTPV01P01K CTPG01P01 CTPG01P01K

CDPZ01PTW CDPZ01PTH CDPZ01PTP CDPZ01PLH CDPZ01PT3 CDPZ01PTT CDPV01PTW CDPV01PTH CDPV01PTP CDPV01PLH CDPV01PT3 CDPV01PTT CDPG01PTW CDPG01PTH CDPG01PTP CDPG01PLH CDPG01PT3 CDPG01PTT
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