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マイクロガードPlus カートリッジフィルター
疎水性UPEメンブレン、孔径0.03-0.2µm、10/20/30インチタイプ
ec9807.pdf
(189693)
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最先端プロセスに対応する優れた除粒子性能。
低圧損、高流量メンブレン。
フォトレジスト溶剤に対する優れた濡れ性。
マイクロガードPlus カートリッジフィルター
除粒子孔径
0.03, 0.05, 0.1, 0.2 µm
材質
フィルター:超高分子量ポリエチレン(疎水性)
サポート:高密度ポリエチレン
コア、スリーブ:高密度ポリエチレン
O-リング:被覆フッソゴムまたはEPDM
ケムロックキー:PFA
膜面積
10インチタイプ:1m2
20インチタイプ:2m2
30インチタイプ:3m2
最大許容正差圧
0.34 MPa at 25 ℃
最大許容逆差圧
0.24 MPa at 25 ℃
最高使用温度
60 ℃
コード0
CWAY01PLE CWAY01PLT CWAZ01PLE CWAZ01PLEK CWAZ01PLT CWAZ01PLTK CWAV01PLE CWAV01PLEK CWAV01PLT CWAV01PLTK CWAG01PLE CWAG01PLEK CWAG01PLT CWAG01PLTK
CWAY02PLE CWAY02PLT CWAZ02PLE CWAZ02PLT CWAV02PLE CWAV02PLT CWAG02PLE CWAG02PLT
CWAZ03PLE CWAZ03PLT CWAV03PLE CWAV03PLT CWAG03PLE CWAG03PLT
コード5
CWAY51PLE CWAY51PLT CWAY52PLE CWAZ51PLE CWAZ51PLT CWAZ52PLE CWAV51PLE CWAV51PLT CWAG51PLE CWAG51PLT
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