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マイクロガード カートリッジフィルター
疎水性UPEメンブレン、孔径0.05-1.0µm、4/10/20/30インチタイプ
ec9405.pdf
(192426)
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フォトレジスト溶剤に対する優れた濡れ性。
幅広いニーズに対応する製品ラインアップ。
マイクロガード カートリッジフィルター
除粒子孔径
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0 µm
材質
フィルター:超高分子量ポリエチレン
コア、サポート:高密度ポリエチレン
O-リング:被覆フッ素ゴムまたはEPDM
ケムロックキー:PFA
膜面積
4インチタイプ:0.5m2
10インチタイプ:0.85m2、1.1m2(UPX)
20インチタイプ:1.7m2
30インチタイプ:2.55m2
最大許容正差圧
0.34 MPa at 25 ℃
最大許容逆差圧
0.24 MPa at 25 ℃
最高使用温度
60 ℃
マイクロガード
CWUZ01PLE CWUZ01PLEK CWUZ01PLT CWUZ01PLTK CWUZ02PLE CWUZ02PLT CWUZ03PLT CWUV01PLE CWUV01PLEK CWUV01PLT CWUV01PLTK CWUV02PLE CWUV02PLT CWUV03PLT CWUG01PLE CWUG01PLEK CWUG01PLT CWUG01PLTK CWUG02PLE CWUG02PLT CWUG03PLT CWUH01PLE CWUH01PLT CWUH02PLE CWUH02PLT CWUH03PLT CWUA01PLE CWUA01PLT CWUA02PLE CWUA02PLT CWUA03PLT
CWUZ51PLE CWUZ51PLT CWUV51PLE CWUV51PLT CWUV52PLE CWUG51PLE CWUG51PLT
マイクロガードUPX
CWUZ0SP01 CWUV0SP01 CWUG0SP01 CWUZ01P01 CWUZ01P01K CWUV01P01 CWUV01P01K CWUG01P01 CWUG01P01K CWUH01P01 CWUA01P01
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