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プレナガードCLカートリッジフィルター

密度勾配型デプスフィルター、公称孔径0.3-1.0µm、5/10/20/30インチタイプ
eds0716.pdf (125316)
 
プレナガードCLカートリッジフィルター
  • CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルター。
  • 最適化されたメディアデザインにより、フィルター性能とライフタイム性能が向上。
  • 最先端のCMPプロセスに対応する孔径ラインアップ。
 
プレナガードCLカートリッジフィルター
材質
 フィルター：ポリプロピレン不織布

キャップ：ポリプロピレン

O-リング：EPDM

ガスケット：EPDM
最大許容正差圧
 0.48 MPa at 25℃
最大許容逆差圧
 0.15 MPa at 25℃
製品型番
 PCL0305E6 PCL0301E6 PCL0302E6 PCL0303E6 PCL0505E6 PCL0501E6 PCL0502E6 PCL0503E6 PCL0705E6 PCL0701E6 PCL0702E6 PCL0703E6 PCL1005E6 PCL1001E6 PCL1002E6 PCL1003E6 PCL3005E6 PCL3001E6 PCL3002E6 PCL3003E6 PCL03F3E6 PCL05F3E6 PCL07F3E6 PCL10F3E6 PCL30F3E6
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